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御微半导体:国内首款可完整覆盖 90~28nm 掩模图形缺陷检测设备发运国内头部晶圆厂

文 / 小亚 2026-07-29 23:39:07 来源:亚汇网

掩模版是芯片光刻环节的核心“母版”,它的品质直接左右整片晶圆的生产良率。细微的图形缺陷,都有可能造成整批晶圆全部报废。亚汇网获悉,该设备可分辨精细图形、规避辅助图形干扰,快速检出图形缺损、表面污染物等各类问题,同时适配掩模制造厂、晶圆厂两大场景,满足全流程品质管控需求。官方表示,自2025年初,可完整覆盖90nm及以上的初代机型Raptor-500交付落地后,经过一年多现场产线迭代打磨,Raptor-600完成全方位技术升级:自研高分辨率透反射双光路紫外成像系统,同步捕捉各类影响掩模及光刻良率缺陷;搭载纳米级高精度运动平台,保障检测定位微米级稳定精度;配套超大图像并行计算引擎,缺陷识别速度与适配性大幅提升。广告声明:文内含有的对外跳转链接(包括不限于超链接、二维码、口令等形式),用于传递更多信息,节省甄选时间,结果仅供参考,亚汇网所有文章均包含本声明。

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