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SK 海力士拟斥资 11.95 万亿韩元采购 ASML 韩国 EUV 光刻机

文 / 小亚 2026-03-24 13:39:05 来源:亚汇网

SK海力士今日还发布公告,确认该公司将以11.95万亿韩元(亚汇网注:现汇率约合547.31亿元人民币)的价格从ASML韩国公司收购一款极紫外线光刻机,为新产品的大规模生产做准备,预计将于2027年12月31日前完成采购。去年9月,SK海力士宣布已将存储器业界首款量产型高数值孔径极紫外光刻机(HighNAEUV)引进韩国利川M16工厂,并举行了设备入厂庆祝仪式。据介绍,此次引进的设备为荷兰ASML公司推出的TWINSCANEXE:5200B,它是首款量产型High-NAEUV设备。与现有的EUV设备(NA0.33)相比,其光学性能(NA0.55)提升了40%,这一改进使其能够制作出精密度高达1.7倍的电路图案,并将集成度提升2.9倍。广告声明:文内含有的对外跳转链接(包括不限于超链接、二维码、口令等形式),用于传递更多信息,节省甄选时间,结果仅供参考,亚汇网所有文章均包含本声明。

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