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日本半导体光刻设备制造商 Gigaphoton 推出 hTGM 新型氖气回收系统,号称回收率达 50%

文 / 小亚 2026-10-06 23:02:39 来源:亚汇网

据报道,这套系统可实现50%氖气回收率,未来调整系统配置后,有望进一步提升回收效率。该技术有望弥补俄乌冲突后的芯片供应链缺口。2022年前,乌克兰供应了全球半导体大约50%的氖气,后续被迫停止出口。同时,全球约70%的氖气产量用于半导体制造,其中很大一部分应用于先进的深紫外(亚汇网注:DUV)光刻工艺。在此之后,中国、韩国等地区均加大了氖气生产力度,多家芯片制造商也在晶圆制造流程引入了氖气回收系统。

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